标准型匀胶机 台式匀胶机 型号:SC-1B
SC-1B标准型匀胶机主要于半导体硅片、晶片、ITO导电玻璃、光学玻璃等工艺制版及表面涂覆,各种光刻胶表面膜制备。
采用变频技术控制旋涂速度与时间,有效控制胶的厚度、均一性。可应用于各研究领域前期研发及小规模生产。
主 要 技 术 指 标1. 控制显示:LED数字控制器,用户可通过控制器进行参数修改设置
2. 匀胶模式:可同时输入七组数值,即转速及匀胶时间可任意设置为Ⅰ档、Ⅱ挡、……Ⅶ档,转速启动后先低速运转(Ⅰ档),然后自动执行Ⅱ档、……Ⅶ档,直至达到高速运转。
3.匀胶时间:1~9999s任意时间可设置
4.匀胶速度:0~8000rmp可调
5.旋转加速度:0~8000rpm/sec 由低速到高速加速时间0.1s~0.5s
6.转速稳定度:±1rmp
7.涂胶均匀性:±3%
8.可镀膜尺寸:Ф5~Ф150mm(6〞)
9.基片厚度: ≤5mm
配 置 参 数1.设备配置Ф200mm接胶装置
2.电机功率:90W,额定转速8000rmp
3.真空泵:FY-1C旋片式真空泵,抽速60L/min(用户可选配无油型真空泵)
4.样片托:标配1英寸一个,2英寸一个,其它规格按要求定制
5.输入电源: AC220V/240V 50HZ
6.整机功率:100W
7.机身尺寸: 280×360×240mm
8.机身重量:10Kg