四探针方阻电阻率测试仪型号:
一. 描述Description:
采用范德堡测量原理能解决样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差,提供通讯接口,PC软件数据处理及数据分析.中文或英文语言版本.
二.参照标准standard:
硅片电阻率测量的标准(ASTM F84)及国家标准设计制造;GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.
三.范围Applicable scope:
于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析半导体材料质量的工具;液晶显示,自动测量和系数补偿,并带有温度补偿功能,自动转换量程;采用AD芯片控制,恒流输出,选配:PC软件,保存和打印数据,生成报表
用于:覆盖膜;导电高分子膜,高、低温电热膜;隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层,电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料,其他半导体材料、薄膜材料方阻测试等相关产品
四.型号及参数Models and technical parameters
规格型modelFT-331
1.方块电阻范围Sheet resistance 10-5~2×105Ω/□
2.电阻率范围Resistivity 10-6~2×106Ω-cm
测试电流范围
Test current 0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
4.电流精度 Current accura±0.1%
5.电阻精度Resistance ≤0.3%
6.显示读数display液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率LCD: resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity 7.测试方式test mode普通单电测量general single electrical measurement
8.工作电源power输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W
9.误差errors≤4%(标准样片结果 Standard Sample results)
10.选购功能choose to buy选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台;5.标准电阻
1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test Platform.
11.测试探头Test probe探针间距选购:1mm;2mm;3mm三种规格; 探针材质选购:碳化钨针;白钢针;镀金磷铜半球形针Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.
Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.