智能程控匀胶机有哪些规格
智能化设计、高配置、高稳定性机型。
PC控制系统,更好的可操控性可编程设计。
5“人机界面,全中文操作系统,更方便操作。
适合多种材料匀胶、制版工艺。
广泛应用于微电子、光电子、通讯、微机械、材料科学及新能源等领域
采用无刷伺服电机,全闭环数字编码器测速机构,实测整个过程马达速度。 机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、不生锈,便于清洗。
排风和抽气系统位于载片台底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。透明可视密封盖可以在旋涂作业时*隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味的散发。
配有真空泵电源输出接口与抽气接口,由界面集中控制。
旋涂程序:用户可通过PC界面设置和存储工艺参数,可存储15组参数,支持多段速。
转动速度:0-5,000rpm
旋涂加速度:0-5000rpm/sec,加、减速时间可自由设置(0-20000ms)
转速稳定度 ±1rpm
测速精度<0.2rpm
工艺时间设定: 0-9,999.9 sec/step 0.1 精度
可镀膜尺寸5mm-200mm(8〞) (标配1-2英寸)
旋涂作业均匀性:< ±3%
支持基片厚度≤5mm
匀胶腔室内径:Ф260mm ,不锈钢材质、可视透明上盖
抽气接口: Ф8mm快速接头,配Ф8mm透明抽气管
样片托:根据实际尺寸定制。
真空泵:配100L/min无油真空泵一台
电源输入: AC220V/240V 50HZ
整机功率:630W (真空泵230W 主机400W)
机身重量:11Kg
真空泵重:6.0Kg
设备尺寸:280×360×240mm