分体式匀胶机技术文章

SC100-SR精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。
　　SC100-SR是一种主机和触摸屏分开的分体式匀胶机，主机被设计为更小安装尺寸或台面嵌入式安装来降低操作高度。SC100-SR可与手套箱配套进行嵌入式安装，控制盒放置在台面上方便移动。

主要性能指标：
主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁） 
旋涂程序：可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒 
转动速度：0-10,000rpm（更高速可选） 
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载） 
马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm 
转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm 
工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec 
支持wafer尺寸1cm-200mm（8"圆晶） 
旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）
产品特性优点：
新的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。 
可进行嵌入式安装，降低操作高度。 

7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。 
Telon ®/polyethylene “密闭碗"设计可适合各种材料匀胶工艺。 
标准配置转速10000rpm，并可根据用户需要进行定制。 
采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。 
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，不生锈，便于清洗。 
排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。 
透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时*隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。