数字式太阳能级硅晶体少子寿命测试仪的作用

LT-200数字式太阳能级硅晶体少子寿命测试仪简介
1. 仪器应用范围及说明
本设备是按照国家标准GB/T1553“硅单晶少数载流子寿命测定的高频光电导衰减法"设计制造。高频光电导衰减法在我国半导体集成电路、晶体管、整流器件、核探器行业已运用了三十多年，积累了丰富的使用经验，经过数次全国十多个单位巡回测试的考验，证明是一种成熟可靠的测试方法，特别适合于硅块、硅棒的少子体寿命测量；也可对硅片进行测量，给出相对寿命值。方法本身对样品表面的要求为研磨面，因此制样特别简便。
昆德公司数字式硅晶体少子寿命测试仪有以下特点：
可测量太阳能级多晶硅块、单晶硅棒少数载流子体寿命。表面无需抛光，直接对切割面或研磨面进行测量，仪器可按需方提供的有标称值的校准样品调试寿命值。
1.1 可测量太阳能级单晶及多晶硅片少数载流子的相对寿命，表面无需抛光、钝化。
1.2 液晶屏上直接显示少子寿命值，同时在线显示光电导衰退波形。
1.3 配置的红外光源：0.904～0.905μm波长红外脉冲激光器，光穿透硅晶体深度较浅≈30μm，但光强较强，有利于测量低阻太阳能级硅晶体少数载流子体寿命，脉冲功率30W。
1.4 **门为消除陷进效应增加了红外低光照。
1.5 测量范围宽广
测试仪可直接测量：
a、研磨或切割面：电阻率≥0.5Ω•cm的单晶硅棒、定向结晶多晶硅块少子体寿命，切割片的少子相对寿命。
b、抛光面：电阻率在0.5～0.01Ω•cm范围内的硅单晶、锗单晶厚度小于1mm的抛光片。
2. 设备技术要求及性能指标
2.1 少子寿命测试范围：0.5μs~6000μs             
2.2 样品的电阻率范围：ρ﹥0.1Ω·cm（非回炉料）              
2.3 测试速度：1分钟/片                      
2.4 红外光源波长： 0.904～0.905μm                   
2.5 高频振荡源：用石英谐振器，振荡频率：30MHZ
2.6 前置放大器，放大倍数约25，频宽2HZ-2MHZ
2.7 可测单晶尺寸：断面竖测：
直径25mm-150mm；厚度2mm-500mm
纵向卧测：直径5mm-20mm；长度50mm-200mm
2.8 测量方式：采用数字示波器直接读数方式
2.9 测试分辨率：**用数字存储示波器Z小分辨率0.01μs 
2.10 设备重量：20 Kg 
2.11 仪器电源：电源电压类型：单相210～230V,50Hz,带电源隔离、滤波、稳压，不能与未做保护措施的大功率、高频设备共用电源。