更新时间:2024-10-10
净化型匀胶机 型号CKF-411 净化匀胶机是适合半导体硅片的匀胶镀膜等其用途广泛包括适合半导体大型晶圆硅片,芯片,晶片,等各种胶体的工艺制版表面涂覆或光刻工艺匀胶。是集成电路及半导体件生产过程中涂复光致抗腐蚀剂的设备
净化型匀胶机 型号CKF-411
净化匀胶机是适合半导体硅片的匀胶镀膜等其用途广泛包括适合半导体大型晶圆硅片,芯片,晶片,等各种胶体的工艺制版表面涂覆或光刻工艺匀胶。是集成电路及半导体件生产过程中涂复光致抗腐蚀剂的设备
设备中涂胶部分四个工位单片微型机控制四个工位同时工作或分别工作,即各工位的运转单独传动,转数单独调节及单独显示。
净化型匀胶机 为保证在涂胶工艺中不飞片,设备中吸头和气泵中间有四个电磁阀,同时增加一个负压储气罐,保证了吸片牢固和可靠性。
设备中配有的空气净化装置。
主要技术指标:
匀胶工位:1个工位 或者 4个工位
匀胶时间:1-99秒
匀胶转数:500-8000转/分
净化效果:100级(美国联邦标准)
操作区风速:0.3-0.5米/秒(有效操作区气流状态:垂直层流()
于φ8mm-φ100mm晶体硅片及其它材料等匀胶
外形尺寸:650x750x1620mm
外体颜色:瓷白色
1.控制范围和精度:转速控制范围为:500-8000转,精度为±3%
2.时间控制范围为:1-99秒,精度为±5%
3.转速调整采用高精度D/A转换,具有128级的精度调谐。
4.转速查看智能化。(自动识别哪个电机开或关)自动转换到开启的电机上。可予先选定,也可在运行中随时查看任一电机的转速。
5.采用良好的I2C总线技术和E2PRAM数字存储器,可预存10组工艺参数(匀胶机A型机可予存10个延时时间,40个电机转速参数。B型机可予存20个时间参数,80个转速参数;显影机可保存9个慢启动参数,30个时间,30个转速参数)。保存的参数掉电10年不丢失。调整后的参数自动保存,简化了操作。
6.具有全自动智能控制功能,当使用全自动方式时只需放好工件,然后按一下ATART(开始)键,吸盘自动打开,定时工作完成后延时6秒电机停稳后自动关闭吸盘,喇叭鸣三声,提示完成工作。大大的提高了工作效率。
7.定时的时间和转速的测量全部由软件控制,定时部分采用倒计时的方式显示,转速测量部分直接显示被测电机的每分钟转数。调整部分由软件和D/A转换器控制,去掉了原使用CMOS电路采用的拨盘开关和机械电位器的机械触点。在原基础上增加了全自动功能,减少了操作程序,避免了频繁的开关面板上的按键开关,大大的降低了按键开关因频繁使用而损坏。提高了整机的可靠性和使用寿命。调整,启动,切换,停止,并有提示音。
隔爆型压力变送器 型号: CYB-30S
概述:
CYB-30S隔爆型压力变送器使用离子溅射薄压力变送器敏感元件,加上精心设计的电子线路以及一体化隔离防爆全不锈钢结构,适合于远距离传输和工业自动化系统配套。特别于具有腐蚀性、易燃易爆气体的环境中使用;可广泛地应用于各种研究和工业环境中进行控制、数据采集,如石油、天然气、化工、冶金、能源等现场需要防爆的工业领域。
技术参数:
指标名称性能指标
被测介质气体、液体及蒸汽
压力类型表压/压/负压
量 程-0.1~0Mpa—150Mpa 可选
供电电源`12~36 DC(标准24V DC)
输出信号4~20mA / 1~5V
精 度±0.1%FS、±0.25%FS、±0.5%FS
温漂影响±0.02%FS/℃
年稳定性0.2%FS/年
缘电阻≥500MΩ(100V DC)
环境温度-20~85℃
介质温度-40~85℃ / 125℃ / 150℃ / 200℃可选
相对温度0~90% RH
过载能力150%FS
连接方式M20×1.5、1/2NPT、1/4NPT可选
接液材料膜片17-4PH;过程连接件1Cr18Ni9Ti
引线方式端子引出型
重 量1.1Kg
防爆等级隔离防爆ExdⅡCT6
外型尺寸图:
技术特点:
高温、、高精度、高稳定性;
抗振动、冲击、耐磨蚀全不锈钢结构 外部可直接调整零点和灵敏度;
符合ExdIICT6隔离防爆要求,适合各类防爆的工业现场;
应用领域:
石油、化工、冶金行业;
医药、生化、发酵检测系统;
自动控制及检测系统;
需要隔离防爆要求的工业现场;